半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体技术中档测封配套设施涉重废水处理——MVR强迫无限循环零排活动
业务情况
半导体器件设备高首测内容,大规模150m³米/天,是首份半导体器件设备首测服务设施涉重废污水零排内容。首测的环节的镀镍、镀铜、引线框架的刷洗会产生含镍含铜废污水,项目规范"无尾水外排",产水全部都循环于产线。
水硬度表现形式与关键点
生产废水以含镍为之主要(氨水浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH浮动大(2–12),还会有光刻胶存留的大量有机肥料物。公测厂田径场紧,条件治理 场地设施占地面小;零排暗示着浓水不要运输太大,都要本地人多效蒸发心得前馈。
解决施工工艺自驾路线
整体化走"分质提取 → 预加工除杂 → 化学工业沉淀出的除镍 → 过滤程序 → UF+有级RO → MVR強制重复蒸发掉 → 蒸汽加热水循环":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢阳极脱色钠添加Ni(OH)₂石雕文化沉淀,加上加硫钠深层次气体吸附残留镍(加硫镍Ksp比氢阳极脱色镍更小,可以镍压到0.1毫克/升下列);
乳浊液留水经多媒介过滤装置器+联防队员过滤装置器后进UF,再进4级RO,产水会直接回产线洗;
RO浓水(含盐+残留血本属)进MVR强制性性嵌套配置挥发器,强制性性嵌套配置能扛高含盐水垢,挥发器自己准备线洗涤,容易堵;
MVR冷却水水返回到回收多角水池,蒸发器残液委外焚烧秸秆或最为危废处理妥善处理,全部整个加工区无液体外排。
重点装置优势详细说明
MVR禁止嵌套无限循环相信一般的降膜多效多效减压蒸馏,嵌套无限循环空气流速高、换热面后易结镍盐/碳酸盐垢,适公测这般"需水量不多但地表水杂"的画面;成信息化撬装制作占地赔偿比传统文化多效多效减压蒸馏塘+多效多效多效减压蒸馏情况报告小60%上文;恶臭侧匹配动物滤池,把调准池和污水间的恶臭获得后分解成CO₂和水,以免公测厂毗邻企业办公场所的气味申诉。
处理功能与社会效益
出水量镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,高于《电镀锌造成的环境有害特性排污规格》表三;整体150立米米/天产水造纸废水处理于公测产线洗掉,替换等量清爽水;危险废弃物(挥发残液+厌氧颗粒污泥)量比传统性"积淀+排污"玩法减约70%。对富士康侧,公测投资项目环保健康准入条件卡点挨打通;