佛山某半导体心片心片创造厂，晶圆工作全过程中引起含硅、氟的专项 废液清理工艺，来设计清理总量1200吨/日。废液清理工艺材料僵化，含带奈米级硅颗粒肥料及氢氧化钠，过去清理措施难考核标准。 化工废水化学成分及种类 主要是水污染物质 ：胶体溶液硅（100-500nm比表面积）、氟正离子（200-300mg/L）、异丙醇 种类工艺流程 ：晶圆刻蚀废液处理方法（45%）、CMP生物机械制造抛光处理废液处理方法（40%）、产品清洗水（15%） 操作工作流程工作流程 转型升级采用了"物理化学奠定+特种工艺膜提取"方法的路线： 钙盐沉淀物中 ：添加氯化钙除掉氟阴阳离子（转换成CaF2积累） 斜板沉淀池现象 ：挽回二沉池剂保证 溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔直径膜公款私存微细科粒 反融入控制系统 ：脱盐率>98%，收售率75% 减压蒸馏晶体 ：浓水段做到氟化物零直接排放 最中体验 氟化物含量：<8mg/L（不高于中国6级标淮10mg/L） 硅占比：<5mg/L 水的资源回收率：70%用到水圆形逆流式冷却塔皮肤补水 危废处理减药：多效蒸发残留物量较民俗的工艺下降60%