某半导打造各个企业因晶圆洗掉工艺流程引起含氨污废水 ，供水量200吨/天。污废水 中除氯离子外还含有氟化物和进样器血本属，处理关卡大。位置减排规则请求氯离子＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废液基本成分及原因 晶圆除垢废水处理工艺（包括来自）：含高锰酸盐指数200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀道工序废水处理工艺：含微量分析铜、镍等血本属，pH值变化大 CMP研磨机污废水 ：含硅颗粒剂及氟化物 补救的工艺的流程 通过"化学工业沉积+膜剥离+折点氯化"组成制作工艺： 预操作 ：污泥脱水CaCl2除氟，把控pH在7.5-8. 反渗透膜体统 ：剔除0.01μm及以上颗粒肥料物 超滤法果汁 ：将高锰酸盐指数提液至1000mg/L综上所述 折点氯化 ：高精度管控氯加药量，将氟化物转变为氢气 正离子调换 ：得到保障血本属达到标准 进而结果 氟化物安全稳定＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属硫含量高于加测限 水工业废水处理率达75% 生活污水引起量可以减少40%