某半导体心片心片制造技术厂在晶圆加工生产阶段中，适用硅烷进行硅外加发展，排放洗條塔形成高溶度含硅废气。废气更具pH振幅大（2-11）、硅占比高的性能，中国传统进行处理做法易会出现硅垢堵赛故障。 废水处理工艺部分及主要来源 化工废水关键有效成分为： 可溶性高，溶于水的性硅酸盐 ：SiO₂密度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢防氧化钠 ：洗衣塔强酸强碱洗衣液使用量 小粒硅 ：納米级SiO₂溶液 痕量砷 ：材料硫氰酸盐带到 工作工艺过程过程 创新性采取"有级与+膜过滤清洁+蒸发掉晶体"工艺设计： 4级与 ：用CaO调结pH至4-5，合成硅酸钙水解，硅弄掉率60%。 二级考试结合 ：加Na₂CO₃将pH的提升至9，进那步积淀用不完硅，并接用镁剂除砷。 超滤膜系统的 ：0.02μm工业陶瓷膜筛选奈米级硅粒状，通量保持稳定在80LMH。 MVR汽化器 ：提液高盐生活污水，晶体出Na₂SO₄副服务，水工业废水处理率超90%。 不可能疗效 总硅从1500mg/L降低5mg/L下述 砷成分从0.8mg/L降为0.01mg/L 系统性无积垢启动少于2年 次年环保再生资源回收硝酸钠钠尖晶石约800吨