该厂为84英寸晶圆生产制造线设施的超纯净水装置,定期生产含硅废液150吨。废液中虽无天价属,但硅浓度高易水垢,且电阻功率率需满足了18MΩ·cm才行中水回用。现有治疗艺始终无法 满足了新公布的《智能工业企业水危害物进行环保排卸标准化》(GB39731-2020)越来越进行排卸卫生防护距离。
生产废水组成成分显著特点
主要的感染物
:悬浊液硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒度0.1-1μm)
特定特殊要求
:TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L
水质监测属性
:低导电率(<50μS/cm)但硅无机化合物姿态复杂的
工作工序的流程
创新技术所采用"梯级膜提取+电去铁离子"三人组合工艺设备:
微滤预补救
:1μm陶瓷厂家膜屏蔽广告大小粒硅,通量达到80LMH
化合物互换环氧树脂
:D201大孔硅胶粘合剂决定性物理吸附硅酸团伙
中级RO系统化
:2.段收购率60%,2.段分为高脱硼膜电气元件
EDI电去亚铁离子
:电流量比热容2A/m²,保持除去残留物化合物
太阳光的紫外线消毒杀菌
:254nm分光光度计线极量40mJ/cm²
技术水平短板
发展用阻硅剂(可挥发胺类混合物),减慢膜生态破坏周期性3倍
EDI电源模块技术创新流道定制,硅剔除率改善至99.8%
上线硅介绍仪(精确测量面积0.1-500μg/L)实现目标优质把控
进行转化效果
经3方测量:
总硅从280mg/L降落到0.05mg/L
硼含磷量从8μg/L调至0.3μg/L
整体收集率从原40%升级至68%
膜调换期限延时至5年,年作业生产成本降低了35%