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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为84英寸晶圆生产制造线设施的超纯净水装置,定期生产含硅废液150吨。废液中虽无天价属,但硅浓度高易水垢,且电阻功率率需满足了18MΩ·cm才行中水回用。现有治疗艺始终无法 满足了新公布的《智能工业企业水危害物进行环保排卸标准化》(GB39731-2020)越来越进行排卸卫生防护距离。 生产废水组成成分显著特点 主要的感染物 :悬浊液硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒度0.1-1μm) 特定特殊要求 :TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L 水质监测属性 :低导电率(<50μS/cm)但硅无机化合物姿态复杂的 工作工序的流程 创新技术所采用"梯级膜提取+电去铁离子"三人组合工艺设备: 微滤预补救 :1μm陶瓷厂家膜屏蔽广告大小粒硅,通量达到80LMH 化合物互换环氧树脂 :D201大孔硅胶粘合剂决定性物理吸附硅酸团伙 中级RO系统化 :2.段收购率60%,2.段分为高脱硼膜电气元件 EDI电去亚铁离子 :电流量比热容2A/m²,保持除去残留物化合物 太阳光的紫外线消毒杀菌 :254nm分光光度计线极量40mJ/cm² 技术水平短板 发展用阻硅剂(可挥发胺类混合物),减慢膜生态破坏周期性3倍 EDI电源模块技术创新流道定制,硅剔除率改善至99.8% 上线硅介绍仪(精确测量面积0.1-500μg/L)实现目标优质把控 进行转化效果 经3方测量: 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L调至0.3μg/L 整体收集率从原40%升级至68% 膜调换期限延时至5年,年作业生产成本降低了35%

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