该晶圆创造厂建在华中国内,首要研发制造8英尺半导体设备晶圆,每日废污水排污量约800吨。因研发制造时候中操作一大批盐酸完成晶圆蚀刻,致使废污水里面氟化物氧浓度到达200-300mg/L,远超国内排污要求(10mg/L下例)。
化工废水物质及的来源
工业废水主要的出自四个原则:
晶圆蚀刻工步
:含高密度氟化物(HF)、氯化铵及少许巨资属
化学物质机械制造增加光泽(CMP)污水
:含纳米技术级硅颗粒物、可挥发络合剂
设施擦洗化工废水
:含异丙醇、高锰酸盐指数等设计物
净化处理技艺程序流程
用"化学反应发展+沥青混凝土发展+高度滤过"三级职业资格证书治理整体:
特一级进行处理
:加药氯化钙和氢被氧化钙,确立氟化钙沉定,氟化物洗去率达85%
2级加工
:获取PAC(整合氯化铝)和PAM(PP酰胺),清掉胶体溶液态环境工业废气
三级视频处里
:凭借多有机溶剂过滤网器和化学活化炭离心分离,出液氟化物有机废气浓度稳定性在8mg/L下类
主要机器包含:pH一键改善程序、斜管沉淀自己池、板框刮刀离心机(污水过滤)。
最终能够体验
产品工作两年监控数据显现显现:
氟化物平均值渗透压:7.2mg/L(不超我国标准单位)
COD洗去率:92%
污水水分含量率:≤65%
年二手回收氟化钙副车辆约150吨,进行成本化借助